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激光干涉仪

点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪Xper WLI 白光干涉仪高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪(独家)皮米精度位移激光干涉仪 显示全部
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皮米精度位移激光干涉仪

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皮米精度位移激光干涉仪(可试用)



       



        昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器,基于其独特的测量原理,相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道,使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量��这种测量方式,使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度,且与信号对比度和强度无关,由于使用整个干涉模式来提取位移信息,因此不存在非线性误差此外,quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到





                        独特的法珀腔+饱和吸收气室构造                               波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能!