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激光干涉仪

点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪Xper WLI 白光干涉仪高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪(独家)皮米精度位移激光干涉仪 显示全部
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Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪

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KALEO MultiWAVE 多波长动态干涉仪


【KALEO MultiWAVE 简介

Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的抗震性能。


【关于Phasics】

Phasics是一家专注于高分辨率波前传感技术的法国公司。Phasics公司凭借其在测量方面的专业经验与独特的波前测量技术为客户提供全面的高性能波前传感器


 一、 KALEO MultiWAVE 主要特点


  • 紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制

  • 单台干涉仪可集成多个工作波长

  • 纳米级相位分辨率

  • 超高动态范围 (>500 条纹数)


二、KALEO MultiWAVE 


  • 光学元件及光学系统计量


三、KALEO MultiWAVE 测量案例


四、KALEO MultiWAVE 指标参数(1)


RMS重复性 (2)< 0.7 nm (< λ / 900)
测量精度80 nm PV (3)
动态范围(离焦值)500 fringes (SFE = 150 μm)
可测反射率范围4% - 100%

(1) 四英寸口径,使用625 nm光源

(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量,每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值,加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。

(3) 1 µm PV 离焦像差下