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快速反射镜/快速倾斜镜

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快速反射镜/快速倾斜镜


微步进电机与PZT压电陶瓷驱动的超大扫描角度的复合轴快速反射镜。

 
此快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构,不仅拥有电机驱动的大量程的特点,又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点,极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。


快速反射镜

            
 

此快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构,不仅拥有电机驱动的大量程的特点,又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点,极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。


产品特点:
Ø  反馈精度: < 1 μm, < 1 μrad (最低可达 10-100 nm)
Ø  超大扫描范围: > 18°
Ø  高速度:伺服频宽超过5 kHz
Ø  PZT驱动制动器和机械装置多种组合
Ø  全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ,完全独立操作

 
快速反射镜类别:
Aligna 60/40:微步进电机快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm
Ø 两个极微等步细分线制动器
Ø 手动调节滚花旋钮
Ø 双轴引用光编码器
Ø 多种反射镜或其他组件安装方式
(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

 
Aligna MoPiA 60/40:微步进电机+PZT驱动快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm
Ø 两个极微等步细分线制动器
Ø 手动调节滚花旋钮
Ø PZT压电扫描器
Ø 双轴引用光编码器
Ø 多种反射镜或其他组件安装方式
(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)


部分应用客户: