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精密定位平台 | 显微载物台

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大行程纳米平移台(压电马达型,10-150mm行程)

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纳米级高速大行程压电马达平移台


XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。


XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台

1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72